| 热处理对铜玷污单晶锗(111)光学性能的影响 |
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| 引用本文： | 孙法,蒋敏,张亚萍,张秀芳,张瑞丽,姚晓辉,席珍强.热处理对铜玷污单晶锗(111)光学性能的影响[J].浙江理工大学学报,2010,27(2):269-271,282. |
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| 作者姓名： | 孙法 蒋敏 张亚萍 张秀芳 张瑞丽 姚晓辉 席珍强 |
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| 作者单位： | 1. 浙江理工大学材料工程中心,杭州,310018
2. 杭州士兰集成电路有限公司,杭州,310018 |
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| 摘 要： | 采用傅里叶红外光谱测试技术,研究快速热处理(RTP)和常规热处理(CFP)对表面铜玷污单晶锗红外透过率的影响。结果表明:样品的红外透过率随热处理温度的上升呈增大趋势。样品经过短时间抛光后,红外透过率恢复至初始大小。分析表明Cu-Ge的互扩散及界面反应是造成透过率改变的主要原因。
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| 关 键 词： | 常规热处理 快速热处理 红外透过率 单晶锗 |
Effect of Thermal Processing on the Optical Properties of Copper-Contaminated Single-Crystalline Germanium |
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