| 径向偏振光对微纳尺度聚合物结构纵向分辨率的改善 |
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| 引用本文： | 林乐,郑美玲,董贤子,金峰,张永亮,赵震声,段宣明. 径向偏振光对微纳尺度聚合物结构纵向分辨率的改善[J]. 量子电子学报, 2017, 0(1): 76-80. DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2017.01.012 |
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| 作者姓名： | 林乐 郑美玲 董贤子 金峰 张永亮 赵震声 段宣明 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院理化技术研究所,北京 100190;中国科学院大学,北京 100190;2. 中国科学院理化技术研究所,北京,100190;3. 中国科学院理化技术研究所,北京 100190;中国科学院重庆绿色智能技术研究院,重庆 400714 |
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| 基金项目： | Supported by National Natural Science Foundation of China(国家自然科学基金;National Nano Major Research Project of Ministry of Science and Technology of China(科技部国家纳米重大研究计划 |
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| 摘 要： | 研究了径向偏振型飞秒脉冲激光并将其引入基于双光子吸收理论的微纳加工系统,得到了更高纵向分辨率、更低长径比的二维微纳尺度聚合物结构.对聚焦光场内光强分布的理论模拟表明:径向偏振型飞秒脉冲激光在提高纵向分辨率的同时会在一定程度上降低聚合物结构的横向分辨率,使聚合物结构的长径比降低.用扫描电子显微镜表征聚合物结构得到的结果与理论模拟结果具有良好的一致性.径向偏振型飞秒脉冲激光提高了微纳尺度聚合物结构的纵向分辨率,在激光光刻领域有良好的应用前景.
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| 关 键 词： | 非线性光学 纵向分辨率 双光子加工 径向偏振 微纳聚合物结构 |
Improvement of longitudinal resolution of micro/nano scale polymer structure with radially polarized beam |
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| LIN Le,ZHENG Meiling,DONG Xianzi,JIN Feng,ZHANG Yongliang,ZHAO Zhensheng,DUAN Xuanming. Improvement of longitudinal resolution of micro/nano scale polymer structure with radially polarized beam[J]. Chinese Journal of Quantum Electronics, 2017, 0(1): 76-80. DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2017.01.012 |
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| Authors: | LIN Le ZHENG Meiling DONG Xianzi JIN Feng ZHANG Yongliang ZHAO Zhensheng DUAN Xuanming |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | nonlinear optics longitudinal resolution two-photon fabrication radial polarization micro/nano polymer structure |
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