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| 会议简讯 | |
| 引用本文： | 吴正明 ,方伟林 ,何喜冠 ,吴健昌.会议简讯[J].微细加工技术,1983(1). |
| 作者姓名： | 吴正明 方伟林 何喜冠 吴健昌 |
| 摘 要： | 由美国真空学会、美国电机及电子学工程师联合会电子器件学组和电化学学会联合主办的1983年国际电子束、离子束和光子束讨论会于5月31日至6月3日在美国加利福尼亚州洛杉矶举行。在本届全体会议上,宣读了分子级制造技术和分子电子器件、激光直接书写工艺和用聚焦离子束实现毫微米结构的无掩模蚀刻等三篇报告。在随后举行的分组会议上,共 |
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