| 长波长、高灵敏度的InP／InGaAs谐振腔光电探测器 |
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| 引用本文： | 黄辉 王琦 等. 长波长、高灵敏度的InP／InGaAs谐振腔光电探测器[J]. 光电子．激光, 2002, 13(3): 221-224 |
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| 作者姓名： | 黄辉 王琦 等 |
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| 作者单位： | 北京邮电大学光通信中心,北京,100876 |
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| 基金项目： | 国家杰出青年基金资助项目 (6962 5 10 1)，国家自然科学基金资助项目 (699760 0 7) |
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| 摘 要： | 本文报道了一种能够实现高速、高灵敏度的InP基谐振腔增强型（RCE）光电探测器。它采用衬底入光方式，解决了在InP衬底上外延生长的InP/InGaAs介质膜分布布拉格反射镜（DBR）反射率低的问题，该探测器的吸收层厚度为0.2μm，在波长1.583μm处获得了80%的峰值量子效率，同时为了降低探测器的固有电容，利用质子注入技术使得器件的部分电极绝缘，实验结果表明质子注入不影响RCE光电探测器的量子效率。
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| 关 键 词： | 波长 灵敏度 InP InGaAs 谐振腔 光电探测器 |
| 文章编号： | 1005-0086(2002)03-0221-04 |
| 修稿时间： | 2001-08-20 |
High Efficiency,High Speed InP/InGaAs Resonant-Cavity Photodetector Operating at Long Wavelengthes |
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| HUANG Hui,WANG Qi,LEI Lei,HUANG Yong qing,REN Xiao min. High Efficiency,High Speed InP/InGaAs Resonant-Cavity Photodetector Operating at Long Wavelengthes[J]. Journal of Optoelectronics·laser, 2002, 13(3): 221-224 |
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| Authors: | HUANG Hui WANG Qi LEI Lei HUANG Yong qing REN Xiao min |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Resonant cavity enhanced (RCE) photodetector Long wavelength High speed response High efficiency |
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