| 紫外激光在微细加工技术中的优势研究 |
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| 引用本文： | 俞君,曾智江,朱三根,龚海梅.紫外激光在微细加工技术中的优势研究[J].红外与毫米波学报,2008,27(6):9-14. |
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| 作者姓名： | 俞君 曾智江 朱三根 龚海梅 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室,上海200083 |
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| 摘 要： | 本文主要涉及紫外激光加工技术.通过实验,将紫外/红外两种激光设备对材料的加工结果进行比较,发现在特殊材料加工上,紫外激光相对于红外激光,加工边沿更光滑、效率更高.对于用红外透过率较高的材料加工的红外器件来说,紫外激光在加工中具有明显的优势.
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| 关 键 词： | 紫外激光 红外激光 红外器件 |
| 修稿时间： | 1/9/2008 12:00:00 AM |
Research on Advantages of UV Laser in Fine Processing Technology |
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| YU Jun,ZENG Zhi-jiang,ZHU San-gen,GONG Hai-mei.Research on Advantages of UV Laser in Fine Processing Technology[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2008,27(6):9-14. |
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| Authors: | YU Jun ZENG Zhi-jiang ZHU San-gen GONG Hai-mei |
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