碲锌镉晶片的超精密飞切减薄工艺研究 |
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引用本文: | 石广丰,史国权,蔡洪彬,肖建国.碲锌镉晶片的超精密飞切减薄工艺研究[J].制造业自动化,2018(4). |
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作者姓名: | 石广丰 史国权 蔡洪彬 肖建国 |
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作者单位: | 长春理工大学机电工程学院 |
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摘 要: | 运用晶体材料的脆塑转变理论,建立了碲锌镉晶体材料生长晶面(111)面上的脆塑转变临界切削深度模型。然后通过碲锌镉典型样件(111)晶面的超精密飞切铣削实验进行了弧形槽结构的检测和分析,获得了碲锌镉晶体材料(111)晶面的脆塑转变临界切削深度数值。并确定了切削单晶碲锌镉材料时的最佳飞切晶向,实现了飞切方向和最小切削厚度值的匹配。最后通过组合夹具的使用,进行了超精密飞切减薄试验,实现了一整套晶体材料的超精密飞切减薄加工工艺。
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