| 箔式锰铜传感器的新进展 |
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| 引用本文： | 崔红玲,杨邦朝,杜晓松,周鸿仁,滕林. 箔式锰铜传感器的新进展[J]. 功能材料, 2005, 36(12): 1957-1958 |
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| 作者姓名： | 崔红玲 杨邦朝 杜晓松 周鸿仁 滕林 |
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| 作者单位： | 电子科技大学,电子工程学院电子实验中心,四川,成都,610054;电子科技大学,电子工程学院电子实验中心,四川,成都,610054;电子科技大学,电子工程学院电子实验中心,四川,成都,610054;电子科技大学,电子工程学院电子实验中心,四川,成都,610054;电子科技大学,电子工程学院电子实验中心,四川,成都,610054 |
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| 基金项目： | “十五”电子预研资助项目（AW030412） |
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| 摘 要： | 箔式锰铜传感器主要应用于动高压的测试中，现有的箔式锰铜传感器采用有机物作为绝缘层，其测压上限为40GPa。而采用绝缘封装层为Al2O3薄膜的箔式传感器，可拓宽其测压上限。动高压测试结果表明，该传感器所承受的压力为55．32GPa，压阻系数为0．0272，传感器的延续时间可达2．5μm。
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| 关 键 词： | 箔式锰铜传感器 Al2O3薄膜 动态高压测试 |
| 文章编号： | 1001-9731(2005)12-1957-02 |
| 收稿时间： | 2005-04-28 |
| 修稿时间： | 2005-07-11 |
The new advance of foil manganin gauges |
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| CUI Hong-ling,YANG Bang-chao,DU Xiao-song,ZHOU Hong-ren,TENG Lin. The new advance of foil manganin gauges[J]. Journal of Functional Materials, 2005, 36(12): 1957-1958 |
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| Authors: | CUI Hong-ling YANG Bang-chao DU Xiao-song ZHOU Hong-ren TENG Lin |
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| Affiliation: | Institue of Electronic Engineering, University of Electronic Science and Technology, Chengdu 610054,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | foil manganin sensors Al2O3 thin film ultra-high pressure testing |
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