| 9μm截止波长128×128 AlGaAs/GaAs量子阱红外焦平面探测器阵列 |
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| 引用本文： | 李献杰,刘英斌,冯震,过帆,赵永林,赵润,周瑞,娄辰,张世祖.9μm截止波长128×128 AlGaAs/GaAs量子阱红外焦平面探测器阵列[J].半导体学报,2006,27(8). |
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| 作者姓名： | 李献杰 刘英斌 冯震 过帆 赵永林 赵润 周瑞 娄辰 张世祖 |
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| 摘 要： | 报道了128×128 AlGaAs/GaAs量子阱红外焦平面探测器阵列的设计和制作.采用金属有机化学气相淀积外延技术生长外延材料,并在GaAs集成电路工艺线上完成工艺制作.为得到器件参数,设计制作了台面尺寸为300μm×300μm的大面积测试器件;77K下2V偏压时暗电流密度为1.5×10-3A/cm2;80K工作温度下,器件峰值响应波长为8.4μm,截止波长为9μm,黑体探测率DB 为3.95×108(cm·Hz1/2)/W.将128×128元 AlGaAs/GaAs量子阱红外焦平面探测器阵列芯片与相关CMOS读出电路芯片倒装焊互连,在80K工作温度下实现了室温环境目标的红外热成像,盲元率小于1%.
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| 关 键 词： | AlGaAs/GaAs 量子阱红外探测器 红外热成像 AlGaAs/GaAs quantum well infrared photodetector infrared thermal images 截止波长 AlGaAs 量子阱 红外 焦平面探测器阵列 Cutoff Focal Plane Arrays Infrared Photodetector infrared thermal images room temperature background operating ratio dead pixels final cutoff peak |
9μm Cutoff 128×128 AlGaAs/GaAs Quantum Well Infrared Photodetector Focal Plane Arrays |
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| Li Xianjie,Liu Yingbin,Feng Zhen,Guo Fan,Zhao Yonglin,Zhao Run,Zhou Rui,Lou Chen,Zhang Shizu.9μm Cutoff 128×128 AlGaAs/GaAs Quantum Well Infrared Photodetector Focal Plane Arrays[J].Chinese Journal of Semiconductors,2006,27(8). |
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| Authors: | Li Xianjie Liu Yingbin Feng Zhen Guo Fan Zhao Yonglin Zhao Run Zhou Rui Lou Chen Zhang Shizu |
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