局部高效的SEM下三维测量法

针对微纳尺度三维扫描电子显微镜(3D SEM)形貌测量方法的配套算法缺失,严重限制其应用的问题,提出了基于视差—深度映射的微纳尺度三维测量方法。首先,建立视差与样品表面深度信息的映射模型;通过引入极线校正算法用以保证视差求解准确性;基于光流估计来进行对应点的匹配,获得稠密准确的视差图,保证了三维数据质量与精度;最后为了证明本文的D2D—SEM微纳尺度三维形面测量方法的有效性,与微纳测试领域较为常用的超景深三维显微镜(VHX—6000,KEYENCE)对比,对样品进行了三维测量与表征。结果表明:所提方法有效可靠。

Locally efficient 3D measurement method under SEM