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| 谐振式MEMS磁传感器数字锁相放大器设计 | |
| 作者单位： | ;1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室;2.中国科学院大学 |
| 摘 要： | 介绍了一种用于谐振式微机电系统(MEMS)磁传感器输出信号检测的数字锁相放大器。通过分析MEMS磁传感器的工作原理和输出信号特征,并根据相干解调原理,设计了数字锁相放大器,其中包括信号通道、参考通道和数字式相干解调器的设计。在数字式相干解调器的设计中,通过正交解调法来消除相位差对磁传感器灵敏度的影响,利用带通采样和降采样来降低硬件要求。将数字锁相放大器应用于磁传感器,顺利实现了对磁传感器输出信号的解调。测试结果具有良好线性度,其非线性度为0. 46%。 |
| 关 键 词： | 谐振式微机电系统(MEMS)磁传感器 相干解调 数字锁相放大器 正交解调 |
Design of digital lock-in amplifier for resonant MEMS magnetic sensor |
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| Keywords: | |