|
|||||
|
|
| 基于三维感应线圈的新型MEMS电流传感器 | |
| 作者单位： | ;1.中国科学院电子学研究所;2.中国科学院大学 |
| 摘 要： | 基于三维感应线圈,研制了一种新型微机电系统(MEMS)电流传感器。传感器以玻璃为衬底,以聚酰亚胺为支撑和绝缘材料,通过溅射、光刻、电镀、抛光等微加工工艺在玻璃衬底上制作出三维感应线圈。传感器具有功耗低、线性度好、质量轻和结构简单等优点,通过U型装置固定在传输导线表面,安装方便。实验测试结果表明:电流传感器两端输出的电压信号与传输线路中的电流成线性关系,线性度为0. 58%。 |
| 关 键 词： | 电流传感器 三维感应线圈 微机电系统工艺 |
Novel MEMS current sensor based on 3D induction coil |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | |