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| MEMS陀螺仪驱动谐振频率的温度补偿方法 | |
| 作者单位： | ;1.广东顺德创新设计研究院;2.北京大学微电子学研究所微纳加工国家重点实验室 |
| 摘 要： | 微机电系统(MEMS)陀螺的模态谐振频率和品质因子具有较强的温度敏感性,使得MEMS陀螺的输出零偏随温度漂移。为了解决零偏随温度漂移问题,提出了一种基于MEMS微机械陀螺的驱动谐振频率做温度基准的零偏温度补偿方法。温度在-40～60℃范围内变化,经多次循环测量陀螺零偏,获得零偏与温度之间的变化关系,并在此基础上,对零偏进行建模分析。利用谐振频率与温度的线性关系,以驱动谐振频率为温度参考,对陀螺零偏进行实时温度补偿。实验结果表明:上电零偏稳定性由补偿前的143. 81°/h变为补偿后的26. 51°/h,降低了5. 42倍;温度在-40～60℃范围内变化,补偿前后的零偏稳定性分别为1368. 05°/h和62. 86°/h,降低了22倍。 |
| 关 键 词： | 微机电系统(MEMS)陀螺 驱动谐振频率 零偏 实时温度补偿 |
Temperature compensation method for drive resonant frequency of MEMS gyroscope |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |