激光驱动器大口径反射镜低应力夹持结构

激光驱动器大口径反射镜面形畸变性能对低应力夹持工艺提出了较高的要求。本文对激光驱动器大口径反射镜的物理特点及性能要求进行分析,通过调研国内外的激光驱动器反射镜常用的低应力夹持工艺方法,并分析了对应的低应力夹持工艺的优缺点,最后提出了改进意见,为光机精密装较低应力夹持优化设计与工程应用提供借鉴与参考。