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| 微液滴注法制备掺杂ZnO传感器及其气敏性能研究 | |
| 作者单位： | ;1.武汉理工大学材料科学与工程学院;2.华中科技大学材料科学与工程学院 |
| 摘 要： | 采用自制ZnO颗粒,通过丝网印刷制备了ZnO平板型厚膜气体传感器,使用微液滴注的方法对ZnO传感器进行Mg,Mn,Sn,Pd掺杂,测量了传感器对乙醇、丙酮、苯、乙酸的气敏性能。结果表明:微滴掺杂能有效提高传感器敏感性和选择性,其中,Mg掺杂传感器对乙醇和丙酮具有最大响应值,同时Mn掺杂传感器对乙酸表现出了较好的选择性。 |
| 关 键 词： | ZnO 气体传感器 微液滴注 掺杂 |
Study on doped ZnO sensor by micro-droplet injection and its gas sensitive properties |
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