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| 肖特基二极管氢气传感器的试验研究 | |
| 作者单位： | ;1.中国电子科技集团公司第四十九研究所 |
| 摘 要： | 报道了一种肖特基二极管氢气传感器。氢气在肖特基二极管的钯金属膜上发生化学吸附后,解离为氢原子,并扩散到钯金属膜内部,引起肖特基二极管的势垒下降,导致电流/电压曲线漂移,从而实现氢气的检测。本试验采用溅射方法制备钯膜,对其敏感特性进行测试,实验结果表明:对氢气响应特性好,测量范围为(0～10 000)×10~(-6)。 |
| 关 键 词： | 肖特基二极管 氢气 气体传感器 |
Experimental study of Schottky diode hydrogen sensor |
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