| 极紫外Mg/SiC、Mg/Co多层膜的稳定性 |
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| 引用本文： | 朱京涛,宋竹青,丁涛,马爽,李浩川.极紫外Mg/SiC、Mg/Co多层膜的稳定性[J].光学精密工程,2013,21(6). |
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| 作者姓名： | 朱京涛 宋竹青 丁涛 马爽 李浩川 |
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| 作者单位： | 同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所,上海,200092 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，国家973重点基础研究发展计划资助项目 |
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| 摘 要： | 采用磁控溅射法在Si(100)基底上镀制了膜系结构分别为Mg/Co]20、Mg/SiC]20的两组多层膜,以研究Mg基多层膜的稳定性.对放置在室温和80％相对湿度环境下的样品进行显微镜、表面粗糙度和X射线掠入射反射率测试,对比研究了Mg/Co和Mg/SiC两种多层膜结构在相同环境中的损坏状况.对比结果显示:放置4天后,Mg/SiC损坏面积为26.34％,表面粗糙度为10 nm; Mg/Co的损坏面积为2.78％,表面粗糙度为5 nm.6天后,X射线掠入射反射率测量显示Mg/SiC多层膜一级反射峰完全消失,而Mg/Co多层膜的一级反射峰仍有47.63％的反射率.实验表明,Mg/Co多层膜的表面层和内部多层膜结构的损坏速度较Mg/SiC慢,具有较好的环境稳定性.另外,X射线光电子谱(XPS)测试Mg基多层膜损坏后的产物主要为MgCO3、Mg(OH)2和少量的MgO,且内层Mg(OH)2与MgCO3含量的比值显著高于表面层.分析认为,水汽是造成Mg基多层膜损坏的主要原因,今后Mg基多层膜保护层的研究可主要针对如何防止水汽进入膜层.
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| 关 键 词： | 极紫外多层膜 多层膜反射镜 稳定性 湿度 |
Stability of Mg/SiC, Mg/Co EUV multilayers |
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| ZHU Jing-tao
,
SONG Zhu-qing
,
DING Tao
,
MA Shuang
,
LI Hao-chuan.Stability of Mg/SiC, Mg/Co EUV multilayers[J].Optics and Precision Engineering,2013,21(6). |
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| Authors: | ZHU Jing-tao SONG Zhu-qing DING Tao MA Shuang LI Hao-chuan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Extreme Ultraviolet(EUV) multilayer multilayer mirror stability humidity |
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