| 等离子体聚合介质膜的感湿机理研究 |
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| 引用本文： | 马振国 杨津基 陈猛. 等离子体聚合介质膜的感湿机理研究[J]. 传感技术学报, 1995, 8(3): 10-12 |
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| 作者姓名： | 马振国 杨津基 陈猛 |
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| 作者单位： | 清华大学电机系气体放电实验室!北京100084 |
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| 摘 要： | 介绍了等离子体聚合方法，重点讨论了已完成的功能高分子湿敏介质膜的感湿机理及其与工艺的联系，并给出结论。
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| 关 键 词： | 湿敏介质 等离子体聚合 湿度传感器 介质膜 |
The Study on Humidity-Sensitive Mechanism of Plasma Polymerized Film |
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| Ma Zhenguo Yang Ginji Chen Meng. The Study on Humidity-Sensitive Mechanism of Plasma Polymerized Film[J]. Journal of Transduction Technology, 1995, 8(3): 10-12 |
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| Authors: | Ma Zhenguo Yang Ginji Chen Meng |
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| Affiliation: | Ma Zhenguo Yang Ginji Chen Meng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | plasma polymerization functional polymer humidity-sensitive film |
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