| 多弧离子镀TiN/Cu纳米复合多层膜致硬机理的探讨 |
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| 引用本文： | 穆静静,王从曾,马捷,郑国龙. 多弧离子镀TiN/Cu纳米复合多层膜致硬机理的探讨[J]. 热加工工艺, 2008, 37(8): 15-18 |
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| 作者姓名： | 穆静静 王从曾 马捷 郑国龙 |
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| 作者单位： | 北京工业大学,材料学院,北京,100022 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 , 北京市自然科学基金 |
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| 摘 要： | 采用多弧离子镀技术制备单一的TiN薄膜和TiN/Cu纳米复合多层膜,研究了复合膜的硬度变化及相组成.初步探讨了TiN/Cu纳米复合多层膜的致硬机理.实验结果表明,Cu元素的掺人阻碍了TiN的生长,使复合膜硬度有了显著提高,制得硬度高达51GPa的TiN/Cu复合多层膜,其TiN以(111)和(200)两个晶面择优生长,且衍射峰强度极为接近,(200)面略高于(111)面.
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| 关 键 词： | 多弧离子镀 TiN/Cu纳米复合膜 纳米晶 超高硬度 |
| 文章编号： | 1001-3814(2008)08-0015-03 |
| 修稿时间： | 2007-11-05 |
Research on Super-hardness Mechanism of TiN/Cu Nano-composite Multilayer Films Prepared by Multi-arc Ion Plating |
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| MU Jingjing,WANG Congzeng,MA Jie,ZHENG Guolong. Research on Super-hardness Mechanism of TiN/Cu Nano-composite Multilayer Films Prepared by Multi-arc Ion Plating[J]. Hot Working Technology, 2008, 37(8): 15-18 |
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| Authors: | MU Jingjing WANG Congzeng MA Jie ZHENG Guolong |
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