| LTCC高温压力传感器温漂特性研究 |
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| 引用本文： | 罗涛,谭秋林,熊继军,纪夏夏,王晓龙,薛晨阳,张文栋. LTCC高温压力传感器温漂特性研究[J]. 传感技术学报, 2014, 27(2): 190-193 |
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| 作者姓名： | 罗涛 谭秋林 熊继军 纪夏夏 王晓龙 薛晨阳 张文栋 |
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| 作者单位： | 电子测试技术重点实验室;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室; |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(51075375);高等学校优秀青年学术带头人支持计划项目(2013) |
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| 摘 要： | 研究了利用杜邦951 LTCC材料制备的无线无源压力传感器的温漂特性。通过搭建高温测试系统,对传感器0~600℃内的高温特性进行了测试,结果表明传感器存在较大温度漂移。通过制作无腔传感器和LTCC基片上螺旋电感进行高温特性测试,通过对比分析,确定了造成传感器温漂的主要原因是LTCC材料相对介电常数的变化。结合测试数据和公式推导,得出了600℃时杜邦951 LTCC材料的相对介电常数由常温7.8增大到9.04。
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| 关 键 词： | LTCC 无线无源压力传感器 相对介电常数 谐振频率 温度漂移 |
Temperatures drift characteristics of high temperature pressure sensor based on LTCC |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | LTCC wireless passive pressure sensor relative permittivity resonant frequency temperature drift |
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