减反射薄膜的制备及其性能 |
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引用本文: | 张雪娜,徐雪青,沈辉,郑岳华.减反射薄膜的制备及其性能[J].半导体学报,2003,24(5):85-90. |
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作者姓名: | 张雪娜 徐雪青 沈辉 郑岳华 |
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作者单位: | [1]华南理工大学材料学院,广州510641 [2]中国科学院广州能源所,广州510070 |
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摘 要: | 使用射频溅射和溶胶-凝胶(Sol—Gel)两种方法在玻璃表面制备SiO2减反射薄膜,比较两种方法制备的薄膜减反效果。分析了Sol—Gel方法中溶胶浓度、陈化时间以及退火温度对薄膜透过率的影响。当溶胶浓度为0.4M、陈化时间为6天以及退火温度达450℃时,制得的样品透过率可达99.3%,采用红外光谱分析了SiO2溶胶及凝胶的结构变化过程,发现随着陈化时间和退火温度增加,Si—O—Si键增强。
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关 键 词: | SiO2薄膜 减反射 溶胶-凝胶 红外光谱分析 |
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