电化学法预处理硅基片提高金铡石成核密度的研究

通过用电化学法预先沉积一层碳膜的方法，利用热丝化学汽相沉积法使金刚石顺光滑硅片上的成核密度达到１０＾７ｃｍ＾－２左右，与未镀碳膜相比提高了近３个数量级。文中还分析了可能的原因。