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电弧等离子体制备纳米Ce—NiO的气敏特性
作者姓名:
董立峰 宋淑敏
摘 要:
用H2+Ar电弧等离子体法制备纳米Ce-NiO并研究其气敏特性。实验结果表明,与通常用作氧敏感器P型NiO半导体材料相比,H2+Ar电弧等离子体法制备的纳米Ce-NiO气敏材料表现出一定的n型导电性,对乙炔具有很好的选择性和较同的灵敏度,其气敏特性与纳米Ce-NiO晶粒的显微结构有关。
关 键 词:
电弧等离子体 纳米 Se-氧化镍 气敏器件 半导体
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