对电子束曝光机光闸特异功能的探讨

一、引言 众所周知,电子束曝光机中的光闸是用来控制图形是否需要曝光的。但是从我们的研究中已明确认识和理解到光闸除上述基本功能外,至少还有以下两个功能可供我们利用:第一,利用光闸作为斩波器,就可以构成一个简单、实用且性能很好的微束流测量仪;第二,通过光闸形成脉冲束流,以此作为信号源来观测有关部件的动态特性。本文要研究和讨论的就是光闸这两种特异功能。