| 显微干涉技术在MEMS动态测试系统中的应用 |
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| 引用本文： | 郭彤,胡晓东,栗大超,胡春光,胡小唐. 显微干涉技术在MEMS动态测试系统中的应用[J]. 微纳电子技术, 2003, 40(7): 218-220 |
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| 作者姓名： | 郭彤 胡晓东 栗大超 胡春光 胡小唐 |
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| 作者单位： | 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 |
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| 基金项目： | 国家863计划项目(2002AA404090) |
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| 摘 要： | 系统采用了显微干涉技术，利用Mirau显微干涉仪配合频闪照明系统实现了对MEMS器件动态特性的测量，测量过程采用了光学干涉的非接触方法，因此不会对器件产生损坏。系统采用了改进的相移算法，抑制了相移器误差以及探测器带来的非线性误差，提高了测量精度。利用本系统测量了微结构上多点处的振幅，得到了被测结构的谐振频率。
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| 关 键 词： | 微机电系统 显微干涉技术 MEMS 动态测试系统 频闪照明 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0218-03 |
| 修稿时间： | 2003-05-15 |
Application of microscopic interferometry in dynamic testing system of MEMS |
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