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SiH4激光等离子体内H谱线的线型研究
引用本文:王金国 李晓苇. SiH4激光等离子体内H谱线的线型研究[J]. 光电子.激光, 1991, 2(3): 150-151
作者姓名:王金国 李晓苇
作者单位:河北大学物理系 071002(王金国,李晓苇,傅广生,张连水,韩理),河北大学物理系 071002(吕福润)
摘    要:本文利用OMA-Ⅲ系统测量了脉冲TEA CO_2激光诱发的SiH_4等离子体发光谱内H巴耳末系的H_α、H_β和H_γ线的线型及线宽。通过理论及实验分析,认为这些谱线的主要加宽机制为Stark加宽。由实验线型和理论线型的拟合得到等离子体的电子温度T≈40000K和电子密度N≈10~(17)cm~(-3)。

关 键 词:SiH4 等离子体 发光光谱 激光

Profile Analysis of H Lines in Laser-induced Silane Plasma
Wang Jinguo,Li Xiaowei,Fu Guangsheng,HanLi Zhang Lianshui and Lu furun. Profile Analysis of H Lines in Laser-induced Silane Plasma[J]. Journal of Optoelectronics·laser, 1991, 2(3): 150-151
Authors:Wang Jinguo  Li Xiaowei  Fu Guangsheng  HanLi Zhang Lianshui  Lu furun
Abstract:
Keywords:laser-induced silane plasme  Stark broadening.
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