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离子注入技术制备Cu—AlN双晶体的晶体学性能

引用本文：	杜军,杨改英.离子注入技术制备Cu—AlN双晶体的晶体学性能[J].高技术通讯,1996,6(8):37-40.

作者姓名：	杜军杨改英

摘要：
关键词：	双晶体离子注入沉积相晶体学 Cu－AIN
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