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ZnSe单晶气相生长输运剂Zn(NH_4)_2Cl_4的制备工艺研究
作者姓名:刘翠霞  坚增运  刘建康  陈连阳
作者单位:西安工业大学材料与化工学院
基金项目:陕西省自然科学基础研究计划项目(2014JQ6214);西安工业大学省级重点实验室开放基金项目(ZSKJ201417)
摘    要:为了获得高质量的ZnSe单晶气相生长输运剂Zn(NH4)2Cl4,采用3种工艺因素和4个水平的16组正交试验设计方法对Zn(NH4)2Cl4输运剂的工艺过程进行了设计和分析研究.通过观察不同工艺下的结晶形貌,进行了物相和热重分析.研究结果表明:最合理的工艺因素为ZnCl2和NH4Cl的摩尔比为1∶1,烘干温度为130℃,结晶条件为室温静置.Zn(NH4)2Cl4的热分解过程分为3步完成,产物是ZnCl2.

关 键 词:ZnSe单晶  输运剂Zn(NH4)2Cl4  正交试验  热重分析
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