| 扑翼微飞行器紫外激光加工技术 |
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| 引用本文： | 张伟,张卫平,柯希俊,邹阳,柴双双,叶以楠. 扑翼微飞行器紫外激光加工技术[J]. 半导体光电, 2015, 36(4): 657-660,666 |
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| 作者姓名： | 张伟 张卫平 柯希俊 邹阳 柴双双 叶以楠 |
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| 作者单位： | 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200240;上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200240;上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200240;上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200240;上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200240;上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200240 |
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| 摘 要： | 为了实现微米尺度扑翼微飞行器的加工,运用了加工材料范围广的紫外激光切割技术,以及碳纤维预浸料的真空袋高温高压固化工艺,通过合理安排工艺流程,实现了一种适于微米尺度复杂机械结构、可采用材料广泛且可以小批量快速加工的加工技术.并将其应用于扑翼微飞行器的加工,得到了一个翼展3 cm,最小尺寸为80 μm的飞行器样机.
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| 关 键 词： | 紫外激光 非硅微加工 碳纤维加工 扑翼微飞行器 |
| 收稿时间： | 2014-11-17 |
UV Laser Processing Technology of Flapping-wing Microair Vehicles |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | UV laser non-silicon micromachining technology carbon fiber processing flapping-wing micro air vehicl |
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