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| 关于涡轮分子泵性能测试方法的几点意见 | |
| 作者姓名： | 郭元恒 杨乃恒 |
| 作者单位： | 北京大学(郭元恒)，东北工学院(杨乃恒) |
| 摘 要： | 近几年来,由于高能物理、宇航工程、受控热核装置和半导体电子工业等部门对真空技术提出一些新的要求,促使用机械方法获得无油超高真空的涡轮分子泵在研制与应用方面得到进一步的发展。许多国家已形成抽速由每秒几十升到每秒几千升的产品系列。国内自77年[1]以来也有不少单位分别研制成功了抽速为450、600、1200和1500升/秒四种类型的立式涡轮分子泵,有的已批量生产。涡轮分子泵具有一些与其他真空泵不同的工作特点,需要有相应的性能测试方法。1976年国际上ISO制订了《涡轮分子泵工作特性测试方法(修订本)》(以下简称《ISQ方法》,其译文… |
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