外延HgCdTe n-沟道MIS场效应晶体管

用在CdTe衬底上外延生长的HgCdTe制备了MIS场效应晶体管。平面n沟道场效应晶体管用ZnS作绝缘层,同时通过注入Be离子形成源和漏区。在77K时表面迁移率为7×10~3厘米~3/伏秒。