| 用于制备金属超微粒子-有机薄膜的离子团束(ICB)镀-飞行时间质谱(TOFMS)系统 |
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| 引用本文： | 高鸿钧,刘惟敏,赵兴珏,于洪滨,薛增泉,肖桂里.用于制备金属超微粒子-有机薄膜的离子团束(ICB)镀-飞行时间质谱(TOFMS)系统[J].真空科学与技术学报,1993(3). |
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| 作者姓名： | 高鸿钧 刘惟敏 赵兴珏 于洪滨 薛增泉 肖桂里 |
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| 作者单位： | 北京大学无线电电子学系和中科院北京真空物理实验室，北京大学无线电电子学系和中科院北京真空物理实验室，北京大学无线电电子学系和中科院北京真空物理实验室，北京大学无线电电子学系和中科院北京真空物理实验室，北京大学无线电电子学系和中科院北京真空物理实验室，中国科学院科学仪器厂 北京 100080，北京 100080，北京 100080，北京 100080，北京 100080，北京 100080 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(NO.6881017) |
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| 摘 要： | 本文描述了离子团束(ICB)镀薄膜装置与飞行时间质谱计(TOFMS)联合系统的研制,此系统不仅可以制备无机材料和有机聚合物薄膜而且还能制备金属超微粒子-有机聚合物薄膜。用TOFMS可对ICB镀的成膜过程进行原位分析和监控。对该系统中TOFMS部分的分辨本领和灵敏度进行了测试:选定质荷比为149的谱峰,得到该质谱计的分辨本领为165;该质谱计对Ar~(40)的最小可检分压强为4.0×10~(-6)Pa。本文也给出了ICB沉积聚乙烯薄膜的飞行时间质谱及其初步分析。
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| 关 键 词： | 离子团束 飞行时间质谱计 金属超微粒子 聚乙烯薄膜 |
IONIZED CLUSTER BEAM DEPOSITION-TIME OF FLIGHT MASS SPECTROMETER SYSTEM FOR THE FABRICATION OF THE ULTRAFINE METAL PARTICLE-ORGANIC THIN FILMS |
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| Gao Hongjun,Liu weimin,Zhao Xinyu,Yu Hongbin,Xue Zengquan.IONIZED CLUSTER BEAM DEPOSITION-TIME OF FLIGHT MASS SPECTROMETER SYSTEM FOR THE FABRICATION OF THE ULTRAFINE METAL PARTICLE-ORGANIC THIN FILMS[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,1993(3). |
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| Authors: | Gao Hongjun Liu weimin Zhao Xinyu Yu Hongbin Xue Zengquan |
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| Keywords: | Ionized Cluster Beam (ICB) Time of Flight Mass Spectrometer (TOFMS) Ultrafine metal particle Polyethylene thin film |
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