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| 火焰法合成金刚石薄膜的电镜表征 | |
| 引用本文： | 陶景光,罗慧倩.火焰法合成金刚石薄膜的电镜表征[J].电子显微学报,1996,15(6):505-505. |
| 作者姓名： | 陶景光 罗慧倩 |
| 作者单位： | 华中理工大学 |
| 摘 要： | 火焰法合成金刚石薄膜的电镜表征陶景光罗慧倩廖兆曙（华中理工大学，武汉４３００７４）金刚石膜由于具有极其优异的性能和广泛的应用，受到国内外的重视。除高温高压人工合成金刚石工艺外，已发展有多种常压气相合成方法，如热丝法、等离子法等。但这些方法大多需要真空... |
| 关 键 词： | 金刚石薄膜 火焰法 合成 电镜 |
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