| 衬底温度对Na-Mg共掺ZnO薄膜光学性能的影响 |
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| 引用本文： | 王玉新,刘奇,臧谷丹,崔潇文,刘子伟,梁鸣.衬底温度对Na-Mg共掺ZnO薄膜光学性能的影响[J].光电子．激光,2017,28(12):1316-1319. |
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| 作者姓名： | 王玉新 刘奇 臧谷丹 崔潇文 刘子伟 梁鸣 |
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| 作者单位： | 辽宁师范大学 物理与电子技术学院,辽宁 大连 116029,辽宁师范大学 物理与电子技术学院,辽宁 大连 116029,辽宁师范大学 物理与电子技术学院,辽宁 大连 116029,辽宁师范大学 物理与电子技术学院,辽宁 大连 116029,辽宁师范大学 物理与电子技术学院,辽宁 大连 116029,辽宁师范大学 物理与电子技术学院,辽宁 大连 116029 |
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| 基金项目： | 辽宁省教育厅科学研究(L2015292)资助项目 (辽宁师范大学 物理与电子技术学院,辽宁 大连 116029) |
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| 摘 要： | 采用超声喷雾热解法,以石英玻璃为衬底,以乙酸 锌(Zn(CH3COO)2·2H2O)、硝酸镁(Mg(NO3)2·6H2O) 和醋酸钠(CH3COONa·3H2O)为前驱体溶液,在不同衬底温 度(480～560℃)下制备Na-Mg共掺杂ZnO薄膜。通过X-射线衍射(X RD)、扫描电子显微镜(SEM)、 光致发光(PL)谱和紫外-可见(UV-Vis)分光光度计等表征手段对样品的晶格结构 、表面形貌、PL性能 和透过率进行了研究。结果表明,衬底温度对薄膜结构和光学特性影响显著,当衬底温度为 500 ℃时制备的 Na-Mg共掺杂ZnO薄膜的c轴择优最明显,表面形貌更加致密,结 晶质量最好,PL性能最佳。
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| 关 键 词： | 超声喷雾热解法 ZnO薄膜 Na-Mg共掺 光学性能 |
| 收稿时间： | 2017/3/27 0:00:00 |
Effect of substrate temperature on optical properties of Na-Mg co-doped ZnO thin films |
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| WANG Yu-xin,LIU Qi,ZANG Gu-dan,CUI Xiao-wen,LIU Zi-we i and LIANG Ming.Effect of substrate temperature on optical properties of Na-Mg co-doped ZnO thin films[J].Journal of Optoelectronics·laser,2017,28(12):1316-1319. |
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| Authors: | WANG Yu-xin LIU Qi ZANG Gu-dan CUI Xiao-wen LIU Zi-we i and LIANG Ming |
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| Affiliation: | School of Physics and Electronic Technology,Liaoning Normal University,Dalian 116029,China,School of Physics and Electronic Technology,Liaoning Normal University,Dalian 116029,China,School of Physics and Electronic Technology,Liaoning Normal University,Dalian 116029,China,School of Physics and Electronic Technology,Liaoning Normal University,Dalian 116029,China,School of Physics and Electronic Technology,Liaoning Normal University,Dalian 116029,China and School of Physics and Electronic Technology,Liaoning Normal University,Dalian 116029,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ultrasonic spray pyrolysis ZnO film Na-Mg co-doping optical properties |
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