| 微阵列光寻址生化传感器系统性能研究 |
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| 引用本文： | 韩泾鸿, 梁卫国, 张虹, 陈德勇, 徐磊. 微阵列光寻址生化传感器系统性能研究[J]. 电子与信息学报, 2003, 25(6): 831-837. |
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| 作者姓名： | 韩泾鸿 梁卫国 张虹 陈德勇 徐磊 |
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| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所,北京,100080 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(69977021,69936010) |
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| 摘 要： | 该文介绍一种基于电解质溶液-绝缘层-半导体(EIS)结构的光、机、电一体化的微阵列光寻址电位传感器系统(LAPS)。文中研讨了LAPS的基本原理和微阵列光寻址电位传感器系统的制造。通过实验证明了芯片厚度、调制频率、曲线线性度对系统性能的影响,获得多种生化参数的光寻址测试结果。
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| 关 键 词： | 光寻址电位传感器（LAPS） 微电子机械系统（MEMS） 生化传感器 |
| 收稿时间： | 2002-01-17 |
| 修稿时间： | 2002-01-17 |
Research of properties on the bio-chemical micro-array light addressable potentiometric sensor system |
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| Han Jinghong, Liang Weiguo, Zhang Hong, Chen Deyong, Xu Lei . Research of properties on the bio-chemical micro-array light addressable potentiometric sensor system[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 2003, 25(6): 831-837. |
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| Authors: | Han Jinghong Liang Weiguo Zhang Hong Chen Deyong Xu Lei |
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| Affiliation: | State Key Lab. of Transducer Tech., Inst. of Electron., CAS Beijing 100080 China |
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| Abstract: | This paper describes a kind of micro-array Light Addressable Potentiometric Sen-sor(LAPS) system based on the Electrolyte-Insulator-Semiconductor (EIS) structure, in which electronic technology, optical technology and mechanical technology are applied. The mechanism of the LAPS is investigated and a trial specimen of the LAPS is developed . The research work finds how the thickness of the chip, the linearity of the I-V curve and frequency affect the performance of the LAPS system, and obtains testing results of urea, penicillin and pH value. |
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| Keywords: | LAPS MEMS Biochemical sensor |
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