| 基于工件面形精度的超精密机床误差建模与分析 |
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| 引用本文： | 李国,董申,孙涛.基于工件面形精度的超精密机床误差建模与分析[J].纳米技术与精密工程,2009,7(5):469-474. |
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| 作者姓名： | 李国 董申 孙涛 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学精密工程研究所,哈尔滨,150001 |
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| 摘 要： | 在影响超精密加工工件面形精度的诸多因素中,机床的空间几何误差与运动误差往往占主要作用.在本单位一台新型超精密加工试验台的加工试验中,出现了较大的面形误差.为了辨识影响工件面形精度的主要误差,首先将机器人运动学理论与多体系统运动学理论相结合,建立新型超精密加工试验台的实际运动模型;其次,定量分析各个误差,如对刀误差、两轴不平行度误差和摆动中心定位误差等对工件面形精度的影响,得到工件面形精度(波峰-波谷值)随不同误差的变化规律;最后进行加工试验,并用PG I1240轮廓仪检测工件面形,将实际加工工件的检测结果与各个误差的分析结果进行相关性分析.通过上述分析,确定试验台两轴不平行是影响工件面形精度的主要误差因素.
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| 关 键 词： | 超精密机床 面形精度 运动模型 空间几何误差 相关性分析 |
Error Modeling and Analysis of Ultra-Precision Machine Based on the Workpiece Form Accuracy |
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| LI Guo,DONG Shen,SUN Tao.Error Modeling and Analysis of Ultra-Precision Machine Based on the Workpiece Form Accuracy[J].Nanotechnology and Precision Engineering,2009,7(5):469-474. |
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| Authors: | LI Guo DONG Shen SUN Tao |
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| Affiliation: | (Center for Precision Engineering,Harbin Institute of Technology,Harbin 150001,China) |
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