| 数字化阴影法测量光学元件表面面形的研究 |
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| 引用本文： | 辛科,程灏波,冯之敬.数字化阴影法测量光学元件表面面形的研究[J].光学精密工程,2004,12(Z1):115-118. |
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| 作者姓名： | 辛科 程灏波 冯之敬 |
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| 作者单位： | 清华大学,精仪系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50175062);国家博士后青年基金(2003034142) |
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| 摘 要： | 提出了阴影检测技术的一种新型数字化方法,用于定量测量光学元件表面的局部面形误差量.在阴影测量装置后搭建数字图像提取和处理系统,运用傅里叶光学原理进行测量方法的数学建模.利用数字图像系统提取阴影检测图像,通过对阴影检测图像特征的分析重构出光学元件面形.仿真结果表明,运用该模型提取一抛物面镜的面形信息,在一维径向方向上可以达到1 λ(λ=632.8 nm)RMS的重构精度,可以满足光学元件加工粗抛光阶段测量的要求.
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| 关 键 词： | 数字化 阴影法 图像处理 面形拟合 |
| 文章编号： | 1004-924X(2004)03-0115-04 |
| 收稿时间： | 2004/2/22 |
| 修稿时间： | 2004年2月22日 |
Digital shadow method for measuring optical surface |
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| XIN Ke,CHENG Hao-bo,FENG Zhi-jing.Digital shadow method for measuring optical surface[J].Optics and Precision Engineering,2004,12(Z1):115-118. |
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| Authors: | XIN Ke CHENG Hao-bo FENG Zhi-jing |
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