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| 引上法单晶棒生长的直径自动控制 | |
| 引用本文： | 诵明.引上法单晶棒生长的直径自动控制[J].激光与红外,1976(5). |
| 作者姓名： | 诵明 |
| 摘 要： | 本文提出了硅单晶棒生长直径自动控制的一种新方法。关于等径控制已经有了几种光学方法,例如对晶体和金属材料的固液界面使用了高温辐射计或工业电视的方法。本文提出的方法,在不用任何光学设备的条件下,分别测定生长中的晶体棒的重量W,长度L,同时控制△W/△L恒定不变。因为这个比值与单晶棒的截面积成正比,所以也就能达到单晶棒的等径生长。本方法中还应用了一种新的控温系统。由一个热转换器感受加热器的功率,并使其自动恒定。如果电源功率波动,则热转换器 |
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