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日开发半导体微细化及微细化替代技术
摘    要:日本的产业技术综合研究所(产综研)于2008年4月1日成立了“纳米电子元件研究中心”。目的是推进半导体元件的微细化,以及开发取代CMOS晶体管微细化的、基于新原理的技术。

关 键 词:半导体元件  替代技术  微细化  开发  产业技术综合研究所  CMOS晶体管  电子元件
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