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| 透射电子显微镜高压电子枪的真空检漏 | |
| 引用本文： | 尤富强,殷俊林.透射电子显微镜高压电子枪的真空检漏[J].理化检验(物理分册),1997,33(7):34-34,36. |
| 作者姓名： | 尤富强 殷俊林 |
| 作者单位： | 上海钢铁研究所研究中心 200940 (尤富强)，上海钢铁研究所研究中心 200940(殷俊林) |
| 摘 要： | 喷射氟里昂是真空检漏中一种简单而实用的方法。日本ＨＩＴＡＣＨＩ透射电子显微镜经维修后，其高压电子枪的真空度达到１．３３＊１０＾－３Ｐａ，灯丝的帮ｈ为ＨＩＴＡＣＨＩ公司所给指标的两倍。 |
| 关 键 词： | 透射电子显微镜 电子枪 真空 检漏 |
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