| 推挽式线性驱动隧穿加速度计研究 |
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| 引用本文： | 何洪涛,杨拥军.推挽式线性驱动隧穿加速度计研究[J].中国机械工程,2005,16(Z1):137-139. |
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| 作者姓名： | 何洪涛 杨拥军 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,050051 |
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| 摘 要： | 介绍了隧穿加速度计的工作原理,设计了一种利用线性梳齿驱动、推挽式力平衡闭环控制的MEMS隧穿加速度计,采用体硅溶片工艺研制出了原理样机,由于结构和工艺简单,获得了较高的成品率,此技术还应用于隧穿陀螺仪和隧穿磁强计的研制.
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| 关 键 词： | MEMS 隧穿效应 加速度计 推挽式 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0137-03 |
| 修稿时间： | 2005年3月28日 |
Research on Push-pull Linearity Drived Tunneling Accelerometer |
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| He Hongtao,Yang Yongjun.Research on Push-pull Linearity Drived Tunneling Accelerometer[J].China Mechanical Engineering,2005,16(Z1):137-139. |
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| Authors: | He Hongtao Yang Yongjun |
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