| 超高/极高真空测量发展综述 |
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| 引用本文： | 李得天,成永军,冯焱,卢耀文,赵澜,徐婕. 超高/极高真空测量发展综述[J]. 真空科学与技术学报, 2009, 29(5). DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2009.05.14 |
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| 作者姓名： | 李得天 成永军 冯焱 卢耀文 赵澜 徐婕 |
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| 作者单位： | 兰州物理研究所,真空低温技术与物理国家级重点实验室,兰州,730000 |
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| 摘 要： | 本文回顾了近50多年来在超高/极高真空测量方面所取得的重要进展.内容包括热阴极电离规和冷阴极电离规的研究进展、新型室温电子源(如Spindt阴极和碳纳米管场发射阴极)和真空的激光电离测量技术在超高/极高真空测量中的应用、小型化超高/极高真空电离规的发展以及我国在超高/极高真空测量方面的研究进展等,从中可对超高/极高真空测量的发展历史和现状有一个完整的了解.
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| 关 键 词： | 真空测量 电离规 X射线效应 电子激励脱附 场致发射 激光电离 |
Latest Progress in Measurement Technology of Ultra Highand Extremely High Vacuum |
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| Li Detian,Cheng Yongjun,Feng Yan,Lu Yaowen,Zhao Lan,Xu Jie. Latest Progress in Measurement Technology of Ultra Highand Extremely High Vacuum[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2009, 29(5). DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2009.05.14 |
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| Authors: | Li Detian Cheng Yongjun Feng Yan Lu Yaowen Zhao Lan Xu Jie |
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