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| 磁控电弧离子镀阴极斑点特性的高速摄影研究 | |
| 引用本文： | 王浩,邹积岩.磁控电弧离子镀阴极斑点特性的高速摄影研究[J].真空科学与技术,1995,15(6):387-390. |
| 作者姓名： | 王浩 邹积岩 |
| 作者单位： | [1]北京大学重离子物理研究所 [2]华中理工大学电力系 |
| 摘 要： | 利用高速摄影技术，对磁控电弧离子镀中阴极斑点大小、寿命及运动轨迹进行了观测，得到了极斑点电流密度、运动速度随磁场、电弧电流及背景气体压力改变而变化的关系曲线。 |
| 关 键 词： | 阴极斑点 高速摄影 磁控电弧 离子镀 |
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