| 用气体微流量标准装置校准参考漏孔 |
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| 引用本文： | 张涤新,吕时良. 用气体微流量标准装置校准参考漏孔[J]. 真空与低温, 1996, 2(2): 68-72 |
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| 作者姓名： | 张涤新 吕时良 |
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| 作者单位： | 兰州物理研究所 |
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| 摘 要： | 介绍气体微流量标准装置用比较测量法和直接测量法校准漏孔的方法，并给出漏孔的核准结果。该标准装置的校准范围为１７～１×１０－５Ｐａ·Ｌ／ｓ，不确定度小于２％。
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| 关 键 词： | 漏孔校准，真空标准，标准漏孔 |
REFERENCE LEAK CALIBRATION WITH GAS FLOW STANDARD APPARATUS |
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| Zhang Dixin, Lu Shiliang, Li Detian,Meng Yang. REFERENCE LEAK CALIBRATION WITH GAS FLOW STANDARD APPARATUS[J]. Vacuum and Cryogenics, 1996, 2(2): 68-72 |
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| Authors: | Zhang Dixin Lu Shiliang Li Detian Meng Yang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Leak calibration Vacuum standard Reference leck. |
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