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InGaAs短波红外探测器
引用本文:潘建旋,以善珍,周航宇. InGaAs短波红外探测器[J]. 红外与激光工程, 2007, 36(Z1)
作者姓名:潘建旋  以善珍  周航宇
摘    要:与InP衬底晶格常数相匹配的In0.53Ga0.47As材料能够制作出高质量的光电探测器,可工作在室温或热电制冷条件下,光响应谱范围为0.92~1.7μm,具有高达80%以上的量子效率.通过对InGaAs探测器芯片平面和平台式结构的分析,以及InGaAs芯片和HgCdTe芯片的性能测试、比较,充分证明了InGaAs材料芯片的优越性及研制在室温下工作的高性能InGaAs探测器的可行性.对InGaAs芯片相对光谱特性的测试表明,InGaAs材料温度响应重复性较好.

关 键 词:短波红外  InGaAs  探测器  室温

InGaAs shortwave infrared detector
PAN Jian-xuan,YI Shanzhen,ZHOU Hang-yu. InGaAs shortwave infrared detector[J]. Infrared and Laser Engineering, 2007, 36(Z1)
Authors:PAN Jian-xuan  YI Shanzhen  ZHOU Hang-yu
Abstract:
Keywords:
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