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| 晶体生长控制中的高辨力称重系统 | |
| 作者姓名： | 耀飞黔 李艳杰 |
| 作者单位： | [1]西安理工大学工厂，陕西西安710048 [2]中国电子科技集团公司第49研究所，黑龙江哈尔滨150001 |
| 摘 要： | 论述了晶体生长控制中高分辨力称重系统的实现技术，重点介绍了传感器的选型方法和信号调理电路的设计技术。系统达到了二十万分之一的有效分辨力。 |
| 关 键 词： | 晶体生长 高分辨力 称重系统 传感器 信号调理 直径控制 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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