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离子氮化技术的研究进展
引用本文:李杨,王亮. 离子氮化技术的研究进展[J]. 材料导报, 2014, 28(13): 61-64
作者姓名:李杨  王亮
作者单位:烟台大学环境与材料工程学院,烟台264005;大连海事大学交通运输装备与海洋工程学院,大连116026
基金项目:国家自然科学基金(51301149; 51179017)
摘    要:离子氮化具有工件变形小、渗速快、节能环保等优点,能有效提高金属零部件的表面硬度、耐磨损和耐腐蚀等性能。然而受气体放电特性和电场效应的影响,工件形状对表面温度的均匀性影响很大,出现表面打弧、边缘效应和空心阴极效应等问题。为了克服传统直流离子渗氮的缺点,近年来出现了一些射频离子氮化、等离子体浸没离子注入、活性屏渗氮以及空心阴极氮化等新技术。

关 键 词:离子渗氮  活性屏渗氮  等离子体浸没离子注入  空心阴极放电

Research Progress in Plasma Nitriding
LI Yang and WANG Liang. Research Progress in Plasma Nitriding[J]. Materials Review, 2014, 28(13): 61-64
Authors:LI Yang and WANG Liang
Affiliation:Enivronmental and Materials Engineering College, Yantai University, Yantai 264005;Transportation Equipment and Marine Engineering College, Dalian Maritime University, Dalian 116026
Abstract:
Keywords:plasma nitriding   active screen plasma nitriding   plasma immersion ion implantation   hollow cathode discharge
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