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| 压阻式微压力传感器结构参数设计 | |
| 引用本文： | 王峰,谭晓兰,张敏亮.压阻式微压力传感器结构参数设计[J].自动化仪表,2013,34(3). |
| 作者姓名： | 王峰 谭晓兰 张敏亮 |
| 作者单位： | 北方工业大学机电工程学院,北京,100041 |
| 基金项目： | 北京市自然科学基金资助项目 |
| 摘 要： | 在研究压阻式微压力传感器的结构参数的基础上,根据传感器的灵敏度与线性度特点,设计了一种量程为200 kPa的微压力传感器.在满足计算要求的条件下,对该传感器的每一个参数进行ANSYS仿真;并根据灵敏度、线性度及制作工艺的难易程度选择这些参数的最佳值.仿真结果表明,该设计方法对微压力传感器的研制具有一定的参考价值. |
| 关 键 词： | 微压力传感器 灵敏度 线性度 ANSYS仿真 可靠性 |
Design of the Structural Parameters for Piezoresistive Micro Pressure Sensor |
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