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可直接测定低压水银灯紫外线照度的检测仪
摘 要:
日本岩崎电气(总部:东京)日前开发出一款可直接检测低压水银灯(发光波长为185nm)紫外线照度和光量的检测仪——185nm型钻石紫外线监测仪。其受光元件使用光电导型钻石传感器芯片,其特点是具有很高的耐紫外线及耐热性。低压水银灯一般用于胶片与树脂的表面改质、臭氧洗净、半导体干式洗净等工艺。
关 键 词:
耐紫外线
水银灯
检测仪
低压
直接测定
照度
发光波长
直接检测
表面改质
监测仪
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