| 环氧树脂灌封器件电镀前处理工艺改进 |
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| 引用本文： | 顾毅欣,朱晓敏,王超,雷雨辰,陈慧贤. 环氧树脂灌封器件电镀前处理工艺改进[J]. 电镀与涂饰, 2022, 0(1): 41-46 |
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| 作者姓名： | 顾毅欣 朱晓敏 王超 雷雨辰 陈慧贤 |
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| 作者单位： | 西安微电子技术研究所 |
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| 摘 要： | 针对环氧灌封器件表面镀层结合力差的问题,在镀前对环氧树脂灌封体进行喷砂,并将铬酸酐?硫酸体系化学粗化改为等离子粗化.采用改进的前处理工艺后,环氧树脂灌封体表面的镀层厚度、结合力及可靠性均满足宇航型号产品的使用要求.
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| 关 键 词： | 环氧树脂灌封体 电镀 预处理 喷砂 粗化 结合力 可靠性 |
Improvement of pretreatment for electroplating on epoxy resin potting |
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| GU Yixin,ZHU Xiaomin,WANG Chao,LEI Yuchen,CHEN Huixian. Improvement of pretreatment for electroplating on epoxy resin potting[J]. Electroplating & Finishing, 2022, 0(1): 41-46 |
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| Authors: | GU Yixin ZHU Xiaomin WANG Chao LEI Yuchen CHEN Huixian |
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| Affiliation: | (Xi’an Microelectronics Technology Institute,Xi’an 710119,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | epoxy resin potting electroplating pretreatment sandblasting roughening adhesion reliability |
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