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光切法测量表面粗糙度的常见问题与消除方法
作者姓名:张泰昌
作者单位:北京市计量检测科学研究院 北京100029
摘    要:用光切显微镜测量表面粗糙度时,目镜视场内成像质量的好坏,将直接影响测量精度,因此必须对仪器进行精心调整。本文对仪器调整及测量过程中常见的一些问题及其消除方法作一介绍,这对于正确使用仪器、提高测量精度是必需的。

关 键 词:光切法 表面粗糙度 光切显微镜 光带 物镜
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